и тензометрического
оборудования на основе SmS тензорезисторов
Тензорезисторы
SmS тензорезистор - это датчик деформаций, чувствительным элементом которого является поликристаллическая пленка моносульфида самария.
Они отличаются высокой чувствительностью к деформации, малой величиной ТКС, линейностью выходного сигнала. SmS тензорезисторы изготавливаются методом взрывного напыления в вакууме тензочувствительного слоя моносульфида самария, представляющего собой поликристаллическую пленку.
Для решения различных задач могут быть использованы различные типы тензорезисторов. Они могут отличаться как принципом работы, так и просто геометрическими размерами.
Тензорезисторы на основе SmS, с точки зрения эксплуатационных характеристик, занимают промежуточную позицию между полупроводниковыми и металлическими тензорезисторами (см. таблицу Сравнительные характеристики). Конкурирующие решения имеют схожие показатели, однако улучшение одного показателя непременно сказывается на других.
SmS тензорезисторы объединяют в себе достоинства Фольговых и Полупроводниковых тензорезисторов, отсеивая их недостатки.
|
Параметры
|
Фольговые тензорезисторы
|
SmS тензорезисторы
|
Полупроводниковые тензорезисторы
|
|
Материал чувствительного элемента
|
Металлическая фольга (константан карма и т.д.)
|
Сульфид самария (поли- кристаллический)
|
Кремний
(монокристаллический)
|
|
Сопротивление, Ом
|
100 - 5000
|
30 - 50000
|
15- 10000
|
|
База, мм
|
1-300
|
0.5- 10
|
2 - 5
|
|
Коэффициент тензочувствительности
|
1.9-2.1
|
20-60
|
80 - 150
|
|
Диапазон рабочих температур, 9^
|
От -50 до +200
|
От -70 до +400
|
От -50
до +150 (некоторые до +225)
|
|
ткс, Ч:’1
|
< 10"5
|
< 5х10'4
|
< 6х10’3
|
|
ткч, V1
|
< ЗхЮ4
|
< 5х10'4
|
< ЗхЮ’3
|
|
Предельная деформация, %
|
0.5-10
|
0.6
|
До 0.6
|
|
Возможность
термокомпенсации
|
+
|
+
|
+
|
|
Линейность выходного сигнала
|
Только для специальной модели
|
Всегда
|
Для специальной модели
|
|
Стойкость к воздействию радиации
|
Только для специальной модели
|
+ (Д° 8
1.5x10° Рентген)
|
-
|
|
Стойкость к воздействию магнитного поля
|
Только для специальной модели
|
+ (до 3 Тесла)
|
-
|
|
Простота монтажа/
Возможность изгиба
|
+
|
+
|
-
|
|
Необходимость усиления сигнала
|
да
|
нет
|
нет
|